这个要比无菌手术严格多了,要知道一粒流感病毒的直径就能有100纳米,细菌就更大了,所以很多硅片厂或晶圆厂里的打工仔得了感冒必须休假,否则打一个喷嚏都可能污染芯片。
这一步对陈地忠这个化学盲来说,也只能一带而过。
第10步,检测密封。
在通过上述加工工艺,提高了硅片的平整度和光洁度之外,硅片还要保证翘曲度、氧含量、金属残余量等等指标,所以要经过电镜检查、光学散射等各种检测,达标后一张平平无奇的硅片才终于诞生了!
最后,做好的硅片被放进充满氮气的密封盒子里送往晶圆厂开始下一段旅程。
以上就是用单晶硅棒加工晶圆级硅片的过程。
我讲清楚了吗?
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